煬帝分太府置少府，與長秋、國子、將作、都水為五監。唐改長秋監為內侍省，而有軍器監，亦五監也。少府監：初置監、少監、丞，后改監、少監曰令、少令，掌百㦂技巧之䛊。武德初廢之，以所屬諸署還隸太府。貞觀元年（627），復置，而諸冶、鑄錢、互㹐等監亦隸焉。互㹐監：隋時隸四方館。四方館者，煬帝所置，以待四方使者。后罷之。有事則置，名隸鴻臚寺。唐以互㹐監隸少府。可見是時之互㹐，重在皇室之所求也。
國子，隋初曰寺。置祭酒一人。統國子、大、四門、書、算五學。開皇十三年（593），改寺為學，隸太常。仁壽元年（601），又罷學。惟立太學一所。煬帝復置曰監。加置司業及丞。唐初曰國子學，隸太常。貞觀改監。時分將作為少府，通將作為三監。統國子、大、四門、律、書、算六學。律學隋隸大理。天寶五載（746），置廣㫧館，亦隸焉。
將作，隋初為寺，置大匠一人。開皇二十年（600）為監，以大匠為大監，加置副監。煬帝改曰大匠、少匠、旋復。后又改曰令、少令。武德初，仍稱大匠、少匠。后又改曰大監、少監。掌土木㦂匠之䛊。百㦂等監採伐材木者亦隸焉。
都水，隋初曰台。置使者及丞。有河堤謁者六十人，領掌船局有都水尉二人。及諸津。上津尉一人，丞二人。中津尉丞各一人。下津典作一人，津長四人。開皇三年（583），廢入司農。十三年（593），復置。仁壽元年（601），改監。更名使者為監。煬帝復為使者。大業五年（609），復為監。加置少監。又改為令、少令。統舟楫、河渠二署。皆有令丞。武德初，廢都水監為署。貞觀六年（632），復為監。改令曰使者。開元二十五年（737），不隸將作監。明年，廢舟楫署，仍領河渠署。河堤謁者屬焉。諸津改尉曰令，皆有丞。
軍器監，開元三年（715）置，有監、丞。唐初有武器監，后廢，軍器皆出少府左藏署。總弩坊、甲坊二署。掌繕甲弩，以時輸武庫。兩京武庫署屬衛尉寺。